半導體新眼睛 衝製程良率 | 科技產業 | 產經 | 聯合新聞網 親愛的網友：為確保您享有最佳的瀏覽體驗，
行銷 整合
，建議您提升您的 IE 瀏覽器至最新版本，
產品 攝影
，感謝您的配合。✕買東西有設計售票網RSSApp粉絲團我的新聞udn family搜尋時尚汽車NBA台灣遊戲國際鳴人堂新鮮事部落格全部願景新聞財經噓星聞時尚汽車NBA遊戲國際鳴人堂新鮮事部落格元氣話題讀書吧讀小說知識庫電子報基金房地產影音售票網外貿網買東西有設計有行旅捷客聯合文學聯經出版世界日報App 即時熱門要聞娛樂運動全球社會產經股市健康生活文教評論地方兩岸數位旅遊閱讀雜誌時尚汽車購物 台股專家解謎 財經焦點 科技產業 金融要聞 稅務法務 產業綜合 商業企管 房市情報 期貨專區 udn / 產經 / 科技產業相關新聞創見全新工規隨身碟亮相 效能絕倫更耐用RockTek攜手LiTV內容 機上盒銷售強強滾趨勢魔法VR巴士駛向台中 地球防衛戰遊戲搶鏡元太攜手精品美容產業 秀智慧化妝品包裝盒大聯大旗下推雙向Type-C快充 可望躍虛擬實境供電首選工研院巨量分析技術 導入電商平台工研院防爆鋰電池 獲全球科技獎工研院：拚創新 跳出框架思考宏碁VR布局 今年拚商用營收童子賢談VR 今年產值將起飛亞太4G吃到飽 打延長賽LG華為推新機 帶旺供應鏈鈺創360度攝影機 開賣宏達電 搶進AI語音辨識南茂營運長 卓連發出任聯發科等17家涉專利侵權 美展開調查亞洲遊戲市場大 台廠添利基鴻海集團周日愛心嘉年華 秀產品供參觀挺台北世大運 科技大廠贊助智慧錶鴻海操刀 夏普要開VR書店可成擁獨特優勢 訂單不會消失可成逆勢擴廠 粉碎掉單疑慮有線TV全數位化 將掀換機潮涉壟斷挨罰 頻道代理商不服高通涉壟斷…聯發科受惠 將迎轉單代工DNA難變 鴻海轉身舉步維艱台股不挺蔡明介？晶心只能含淚上市直擊聯發科布局 印度菁英來台秘訓翟本喬認錯》我心太軟，
品牌行銷公司 推薦
，應該2年前就裁半導體新眼睛 衝製程良率分享分享分享留言列印A-A+2017-01-20 01:27經濟日報 記者李珣瑛／台北報導WhatsApp 半導體製程持續微縮，
台中平價霧眉
，量產技術已達14奈米，
活動 拍攝
，半導體大廠更朝10奈米、7奈米邁進，
line行銷
，連5奈米也在規劃中。然而，
黑糖觀光工廠
，在製程良率的提升上，
辦活動 公司
，半導體業者卻可能面臨「看不見」的難題。工研院與台積電合作開發的「新世代溶液中奈米微粒監控系統」，就是這雙新眼睛。在半導體濕式製程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中奈米粒子的尺寸與分布會影響晶圓電路圖案（pattern)的製程結果，因此必須持續監控溶液中粒子大小及數量，只要發現溶液粒子不符規格，就要馬上暫停及更換，以維持產品良率。工研院量測技術發展中心何信佳博士指出，傳統的雷射光學設備「看不到」化學溶液中40奈米以下的微粒，因此，半導體業者需擁有一雙能真正看得到更小微粒的「新眼睛」。台積電想利用量測氣體粒子的方法量測製程化學溶液，且必須能夠24小時連續在產線上進行監測。台積電先是向美國知名研發機構NIST求援，該機構專家轉而向台積電推薦曾在2010年前往NIST研究的何信佳。何信佳及團隊成員終將實驗室用的技術轉換為工廠用的設備。，