荷蘭艾司摩爾(ASML)併購股后漢微科,
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,牽動台積電與三星的製程競賽。設備業者認為,
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,ASML併購漢微科之後,
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,可能協助三星加快7奈米量產,
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,使得台積電與三星的7奈米大戰戰火更烈。業界觀察,
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,三星在10奈米製程失利後,
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,已宣布提前7奈米量產計畫,
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,率先在7奈米導入ASML量產的極紫外光微影製程(EUV)微影設備機台。三星規劃,
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,明年第2季或第3季EUV機台裝設完工後,明年底就會用於量產7奈米晶片。台積電在7奈米製程尚未導入EUV設備。由於ASML併購漢微科後,將大幅提升先進製程機台能量,業界密切關注ASML是否會協助三星加快7奈米布局,以及台積電後續因應動作。台積電表示,對ASML併購漢微科持肯定態度,預期以ASML雄厚財力,可以讓漢微科有更大的後盾,支持在電子束檢測更先進的研發。對於三星提前在7奈米採用EUV微影製程,台積電表示,考量目前EUV設備還有很多技術瓶頸,公司才決定不在7奈米導入使用,將緊盯對手發展。台積電強調,若EUV設備在2018年更成熟,該公司也會採取應變對策,絕不會讓對手取得先機。業界分析,ASML將以千億元併購漢微科,牽動半導體三強台積電、三星和英特爾在7奈米以下製程競賽甚鉅。尤其三星率先在7奈米導入EUV機台,顯然要用更先進的製程設備,在晶片效能做大幅突破,並以領先台積電的7月奈米時程,讓打算大舉採用台積電7奈米製程的大客戶蘋果和高通重新調整下單策略。,