漢微科執行長招允佳昨（19）日強調，
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，面對全球半導體設備龍頭應材與光學檢測大廠科磊（KLA-Tencor）兩大廠強勢競爭，
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，漢微科仍在有利位置，
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，有信心在電子束檢測市場，
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，維持領先優勢。他舉例，
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，科磊的主力產品是光學掃描，
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，應用在10奈米的量產線上，速度雖比漢微科的電子束檢測設備快，但光學掃描只是把可能疑似有缺陷晶圓掃出，最後還是得透過其他設備複檢，時間並不見得比電子束檢測設備來得精準且有效率。，